ГОСТ 19658-81: Кремний монокристаллический - Полный Разбор

ГОСТ 19658-81: Кремний монокристаллический - Полный Разбор
Дата
01.01.1983
Заменяет
ГОСТ 19658-74
Область применения
ГОСТ 19658-81: Кремний монокристаллический в слитках. Технические условия. Настоящий стандарт распространяется на слитки монокристаллического кремния, получаемые методом Чохральского и предназначенные для изготовления пластин-подложек, используемых в производстве эпитаксиальных структур и структур металл-диэлектрик-полупроводник
    Описание

    Обзор ГОСТ 19658-81: нормативный документ для инженеров и технологов

    ГОСТ 19658-81 является ключевым нормативным актом, регламентирующим технические характеристики кремния, предназначенного для использования в электронной промышленности. Этот стандарт играет важную роль в обеспечении качества исходного материала, что критически важно для производства современных электронных устройств, таких как микропроцессоры, солнечные панели и другие высокотехнологичные изделия. В условиях растущей тенденции к локализации производства и импортозамещению, требования данного стандарта приобретают особую значимость для специалистов в области инженерии и закупок.

    Цели и область применения стандарта

    Стандарт ГОСТ 19658-81 устанавливает технические требования к кремнию, выращенному методом Чохральского, который затем используется для изготовления полупроводниковых приборов и других электронных компонентов. Документ не распространяется на кремний с примесями, отличными от фосфора, сурьмы, мышьяка и бора, а также на материалы, предназначенные для специализированных применений с особо строгими техническими условиями.

    Основные технические требования

    Стандарт определяет следующие ключевые характеристики кремния:

    1. Качество и электрическое сопротивление:

      • Кремний классифицируется на два типа:

        • Кремний электронного качества (КЭС) предназначен для использования в приборах с высокими требованиями к точности параметров. Он должен обладать высокой степенью чистоты и определённым значением электрического сопротивления.

        • Кремний фотоэлектрического качества (КЭФ) используется для производства солнечных батарей и может иметь менее строгие требования к чистоте и электрическим характеристикам.

    2. Геометрические параметры:

      • Слитки кремния должны иметь цилиндрическую форму с регламентированными значениями диаметра и длины.

      • Поверхность слитков должна быть ровной, без трещин, сколов и других дефектов.

    3. Содержание примесных элементов:

      • В конце слитка допускается повышенное содержание кислорода, которое должно быть удалено для предотвращения негативного влияния на эксплуатационные характеристики конечного изделия.

    Методы контроля качества

    Для обеспечения соответствия требованиям стандарта проводится комплекс испытаний, включающий:

    • Измерение геометрических параметров (диаметра и длины) каждого слитка.

    • Визуальный осмотр поверхности на предмет наличия дефектов.

    • Определение электрического сопротивления с использованием специализированного измерительного оборудования.

    • Анализ плотности дефектов и уровня чистоты материала.

    Сравнение с альтернативными стандартами

    ГОСТ 19658-81 является одним из нескольких нормативных документов, регулирующих характеристики кремния. Для сравнения можно выделить следующие стандарты:

    • ГОСТ 2169-69, который применяется для кремния общего назначения.

    • ГОСТ 13073-77, регламентирующий требования к кремнию особой чистоты, используемому в высокоточных приборах и устройствах.

    Рекомендации по работе с кремнием

    При работе с кремнием рекомендуется учитывать следующие аспекты:

    1. При закупке:

      • Указывать тип кремния (КЭС или КЭФ) и требуемые технические характеристики.

      • Требовать от поставщика проведения входного контроля качества продукции.

      • Запрашивать полный комплект технической документации на каждую партию кремния.

    2. При контроле качества:

      • Проводить визуальный осмотр слитков для выявления дефектов.

      • Осуществлять измерения геометрических параметров с использованием прецизионных инструментов.

      • Использовать специализированное оборудование для измерения электрического сопротивления.

    Заключение

    ГОСТ 19658-81 представляет собой важный нормативный документ, регламентирующий технические требования к кремнию, используемому в электронной промышленности. Понимание и соблюдение положений данного стандарта позволяет обеспечить высокое качество конечного продукта, минимизировать риски производственных дефектов и способствовать успешному развитию высокотехнологичных отраслей.

    Другая справочная информация:
    все виды абразивов стеклянная дробь, стеклошарики


    стеклошарики